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スパッタリング装置 EB1000

キヤノンアネルバ(株)

最終更新日:2023/01/16

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  • スパッタリング装置 EB1000
3次元同時スパッタが可能
【EB1000】は、3次元同時スパッタが可能なスパッタリング装置。ロードロック室を標準装備、真空排気操作の完全自動化などに対応できる機能強化を実現。コンパクト設計による省スペース化に加え環境に配慮したECO設計で、800℃の高温加熱が行える。φ2インチカソードを搭載、オフセットも可能。本体寸法：1700×740×1350mm。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
キヤノンアネルバ(株)
住所：
〒 215-8550
川崎市麻生区栗木2-5-1
Web：
https://anelva.canon/