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厚さ50μmガラス用非接触搬送装置 フロートチャックLNA-G型

(有)ソーラーリサーチ研究所

最終更新日:2014/02/01

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  • 厚さ50μmガラス用非接触搬送装置 フロートチャックLNA-G型
薄いワーク、脆いワークを損傷することなく非接触にて搬送可能
【フロートチャックLNA-G型】は、厚さ50μmを損傷することなく非接触にて搬送可能する装置。空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けており、ノズルより噴出した高圧空気は直角方向に変更され、直接ワークに衝突することはない。従って圧力線図に示すようにワークに高圧噴出空気による局所応力を与えることがない(負圧になっている)。このため薄いワーク、脆いワークも破損することがない。適応材質は次の通り。
(1)極薄ガラス(厚さ30μm)、(2).超薄ウエハ(厚さ20μm)、(3)フィルム(厚さ10μm) 、(4)通気性シート(不織布、紙、布他)、(5)スルーホール基板
    　　　　　　　　

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住所：
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http://www.solarlab.co.jp/