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クリーンルーム用非接触搬送装置

(有)ソーラーリサーチ研究所

最終更新日:2014/02/01

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  • クリーンルーム用非接触搬送装置
排気回収機構を備えたクリーンルームで使用
本製品は、基体中央に設けたノズルより縦旋回に気体を噴出し、効率よくウエハを非接触(非接触)状態にて搬送、反転、傾斜するクリーンルーム用非接触搬送装置。ノズルから噴出した排気を吸引捕捉する排気回収機構が設けられおり、排気を外部に放出することで、クリーンルームへの流出を防止するだけでなく、チリの巻き上げや飛散を防ぐ。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
(有)ソーラーリサーチ研究所
住所：
〒 561-0874
豊中市長興寺南1-3-1　田中開発ビル2Ｆ
Web：
http://www.solarlab.co.jp/