サファイアウエハ非接触搬送装置
最終更新日:2014/02/01
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ウエハを空中に浮遊した非接触状態で懸垂保持
本製品は、サファイアウエハを非接触にてカセットにローダ・アンローダ可能な薄型タイプの非接触エンドエフェクタ。気体を噴出しベルヌーイ効果により負圧を発生させ、ウエハを空中に浮遊した非接触状態で懸垂保持する仕組みで、気体消費量が少なく、懸垂重量が大きく高効率、また、剛性があり、重量のあるサファイアウエハ用に薄く製作されているため、キャリアーへのウエハのローダ・アンローダに最適である。さらに、位置決め機構を備えており、アライメントされたウエハを搬送可能。
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