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0.05mm超薄型ガラス非接触搬送装置ベルヌーイチャック

(有)ソーラーリサーチ研究所

最終更新日:2014/02/01

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0.05mmの超薄型ガラス基板を損傷せず、非接触にて搬送

【ベルヌーイチャック】は、空気噴出ノズルの直下に気体偏向器を設けた、非接触搬送装置「フロートチャックLNA型」にて構成された0.05mm超薄型ガラス非接触搬送装置。空気を噴出することで、ワークを空中に浮遊した非接触状態で懸垂保持し、搬送する仕組みで、気体偏向器により、ノズルから噴出した高圧空気流は直角方向に変流されるため、直接超薄ガラスに衝突し、極薄ガラスを破損する心配がない。また、高圧噴出空気による局所応力を超薄ガラスに与えることもないため、薄いワーク、脆いワークでも破損することがない。

産業用機械│半導体製造装置│

　　　　　　　　

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