卓上型大気圧プラズマ表面改質装置 MyPLシリーズ
最終更新日:2014/01/31
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マニュアルステージ搭載した簡易プラズマユニット機
【MyPLシリーズ】は、各種装置へのビルドイン対応可能な卓上型大気圧プラズマ表面改質装置。グロー放電プラズマによるダイレクト方式で、低ランニング費用(ガス消費量、低パワー)、金属／非金属に対応する。主な用途は、(1)ダイアタッチ、モールディング、ワイヤーボンディング、Au-Au超音波接合等の前処理用(Bondability向上)、(2)表面改質、(3)有機物除去(ウェハ、ガラス、PCB／FPCB、CSP／BGA基板など)、(4)LCD基板端子洗浄。
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