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プラズマ表面処理装置 POEM

神港精機(株)

最終更新日:2018/08/23

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  • プラズマ表面処理装置 POEM
平行平板型RIE方式のプラズマを利用
本装置は、平行平板型RIE方式のプラズマを利用した、基板表面のクリーニング・還元・酸化などの処理を可能としたプラズマ表面処理装置。処理目的に応じて、処理モードや処理ガスを種々変える事により、幅広い用途に対応している。基板サイズに合わせ450×450mmの大型基板対応装置と、250×250mmの小型基板対応装置の2機種を用意。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
神港精機(株)
住所：
〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web：
http://www.shinko-seiki.com/