製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります

高密度プラズマエッチング装置 SERIO

神港精機(株)

最終更新日:2014/02/01

このページを印刷
  • 高密度プラズマエッチング装置 SERIO
高密度ICPプラズマソースを搭載
【SERIO】は、高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置。独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の平滑性を実現。さらに、ICP装置では難しいとされていた、テーパー角度の制御が可能となり、電子分野からMEMS、ナノインプリント分野における高アスペクトエッチングに最適なシステム構成となっている。

高密度プラズマエッチング装置 SERIOのお問い合わせ

お問い合わせはこちら

新着製品情報

卓上型サーマル式 プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置
卓上型サーマル式 プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置株式会社エイチ・ティー・エル
ウェーハ搬送装置 PWT2022
ウェーハ搬送装置 PWT2022PHT株式会社
高耐熱粘着シート MagiCarrier-β
高耐熱粘着シート MagiCarrier-β株式会社京写
UV LED露光用光源
UV LED露光用光源カンタム・ウシカタ(株)
高速ハンドラー装置 BITA-1/2
高速ハンドラー装置 BITA-1/2KNE株式会社
FPDモジュール自動点灯検査装置
FPDモジュール自動点灯検査装置ニデックインスツルメンツ(株)

ランキング

企業基本情報

社名:
神港精機(株)
住所:
〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web:
http://www.shinko-seiki.com/