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高密度プラズマエッチング装置 SERIO

神港精機(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • 高密度プラズマエッチング装置 SERIO
高密度ICPプラズマソースを搭載
【SERIO】は、高密度ICPプラズマソースを搭載した高密度プラズマエッチング装置。独自開発プロセスにより、高い垂直性とエッチング表面の平滑性を実現。さらに、ICP装置では難しいとされていた、テーパー角度の制御が可能となり、電子分野からMEMS、ナノインプリント分野における高アスペクトエッチングに最適なシステム構成となっている。
    　　　　　　　　

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社名：
神港精機(株)
住所：
〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web：
http://www.shinko-seiki.com/