製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. 平田機工株式会社
  4. 製品
  5. 真空対応ウェーハ搬送ロボット AR-WVシリーズ

真空対応ウェーハ搬送ロボット AR-WVシリーズ

平田機工株式会社

最終更新日:2015/08/25

このページを印刷
  • 真空対応ウェーハ搬送ロボット AR-WVシリーズ
高クリーン、高真空でバリエーション豊富
【AR-WVシリーズ】は、高性能磁性流体ユニットの採用により、低リークレートを実現した高真空対応のウェーハ搬送ロボット。アーム長・アームタイプの自在な組み合わせおよび高真空・低真空の選択が可能といった豊富なバリエーションを用意。また、磁性流体シールとメッシュフィルタなどにより、パーティクルの発生を抑制するといった高クリーン性能を保持したほか、全軸にABSエンコーダ仕様のACサーボモータを使用したことで、原点復帰動作が不要。
    　　　　　　　　

一緒に閲覧されている製品

真空対応ウェーハ搬送ロボット AR-WVシリーズのお問い合わせ

お問い合わせはこちら

その他製品一覧

最新PDFもっとみる

R32冷媒採用 空冷チリングユニットダイキン工業(株)
MTW-F日合通信電線株式会社
エッジAI SoC Di1株式会社ディジタルメディアプロフェッショナル
PACER クリーンルーム手袋 クラス100(NBR・PVC)森良株式会社
iso415R AC/DC対応の絶縁監視装置(非接地配線方…株式会社プロトラッド
PDF情報をもっと見る>>
ニュースリリース情報をもっと見る>>
最新展示会情報をもっと見る>>

企業基本情報

社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/