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真空対応ウェーハ搬送ロボット AR-WVシリーズ

平田機工株式会社

最終更新日:2015/08/25

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  • 真空対応ウェーハ搬送ロボット AR-WVシリーズ
高クリーン、高真空でバリエーション豊富
【AR-WVシリーズ】は、高性能磁性流体ユニットの採用により、低リークレートを実現した高真空対応のウェーハ搬送ロボット。アーム長・アームタイプの自在な組み合わせおよび高真空・低真空の選択が可能といった豊富なバリエーションを用意。また、磁性流体シールとメッシュフィルタなどにより、パーティクルの発生を抑制するといった高クリーン性能を保持したほか、全軸にABSエンコーダ仕様のACサーボモータを使用したことで、原点復帰動作が不要。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/