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ロードポート FOUPオープナ

平田機工株式会社

最終更新日:2015/08/25

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  • ロードポート FOUPオープナ
高クリーンでメンテナンス簡単、多種のキャリアに対応
【FOUPオープナ】は、SEMI規格に準拠し、キャリアメーカー各社のFOUP、FOSB、AUTO FOSBに対応可能なロードポート。調整プレートによる再現性・MTTRの向上および、機構設計と気流解析により、清浄空間を確保し、信頼性を向上した高クリーン性能を保持。また、特殊ABSエンコーダ採用により、バッテリー交換が不要で、各デバイスメーカーの要求に応じ、フレキシブルな配列が可能。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/