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ロードポート SMIFポッドオープナ(アーム付)

平田機工株式会社

最終更新日:2015/08/17

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  • ロードポート SMIFポッドオープナ(アーム付)
カセット搬送アーム付きタイプ
【SMIFポッドオープナ(アーム付)】は、プロセス装置へカセットを搬送するチルト機構付きアームを搭載したロードポート。開閉動作の制御による乱流・巻き込みを防止し、機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減を実現した高クリーン性能を保持している。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/