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社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/

ロードポート SMIFポッドオープナ(自動開閉)

平田機工株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • ロードポート SMIFポッドオープナ(自動開閉)
高クリーン、省スペース、上位装置による自動開閉タイプ
【SMIFポッドオープナ(自動開閉)】は、上位装置へドッキングすることで、ミニエンバイロメントを実現した自動開閉タイプのロードポート。レチクルポッドに対応しており、RSP-200規格容器の開閉が可能(オプション)で、スモールフットプリントの実現により、専用機との接続・組込みが容易。さらに、開閉動作の制御による乱流・巻き込みを防止できるうえ、機構部の隔離と強制排気によるパーティクル低減を実現した高クリーン性能を保持している。
    　　　　　　　　

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