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ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)

平田機工株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)
高クリーン、ノッチタイプの吸着式高速アライナ
【プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)】は、非接触(センサ方式)で、オリフラタイプ・ノッチタイプに対応したウェーハ位置決め装置で、アライメント時間 2秒以下、補正精度 ±0.2°で高速処理による高アライメントを実現。接触面積を最小限にすることでパーティクルの発生を抑制した高クリーン性能を有している。

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〒 861-0198
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Web:
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