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ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)

平田機工株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • ウェーハ位置決め装置 プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)
高クリーン、ノッチタイプの吸着式高速アライナ
【プリアライナ KWAシリーズ(吸着式)】は、非接触(センサ方式)で、オリフラタイプ・ノッチタイプに対応したウェーハ位置決め装置で、アライメント時間 2秒以下、補正精度 ±0.2°で高速処理による高アライメントを実現。接触面積を最小限にすることでパーティクルの発生を抑制した高クリーン性能を有している。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
平田機工株式会社
住所：
〒 861-0198
熊本市植木町一木111　熊本本部　熊本工場　熊本本部ビル6階
Web：
http://www.hirata.co.jp/