MEMS量産用縮小投影露光装置 ミニステッパー NES2-h04／h06
最終更新日:2014/02/01
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200mmウエハ対応
【ミニステッパー NES2-h04／h06】は、200mmウエハに対応したMEMS量産用の縮小投影露光装置。ステッパー方式による数々のメリットと深いフォーカスマージン、高精度な裏面アライメントにより、歩留まり向上・安定化に貢献。高速レチクルブラインド、ウエハローダなど豊富なオプションも用意し、小型・簡単・リーズナブルにMEMS量産を強力にサポート。
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