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自転式スピンドライヤー(卓上遠心乾燥機)

大宮工業株式会社

最終更新日:2014/02/01

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  • 自転式スピンドライヤー(卓上遠心乾燥機)
高速回転による遠心力でワークを乾燥を素早く乾燥
本装置は、ウェハ・ガラス・マスクなどの精密で割れやすいワークをクリーンな環境を維持させたまま、高速回転させ遠心力の力で水分を吹き飛ばすことが可能。ウェハキャリアカセットをローターにセット後、スタートボタンを押すだけの簡単操作で、ウェハ0〜25枚のリンス・乾燥が可能。「比抵抗値を管理しながらの純水リンス」、「N2パージ」、「静電気の徐電」といったオプションを取る付けることもできる。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
大宮工業株式会社
住所：
〒 714-0006
笠岡市みの越1番地
Web：
http://www.okksg.co.jp/