3 x 2／3 x 3インチガンマルチスパッタ FlexLab System‐75

製品カタログ・資料

3 x 2／3 x 3インチガンマルチスパッタ FlexLab System‐75

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.74MB【FlexLab System‐75】は、多目的の研究用RF、DCスパッタとして金属、金属酸化物、金属窒化物、高分子物質などの蒸着ができる。半導体、ディスプレイ、ソーラーセル、バイオチップ、新素材、ナノ材料、サンプルの準備などの用途に使用できる。設置空間をとらず、操作も容易で、値段も安価である。ターゲットとチャンバー窓のシャッター、チャンバーの内部にライナーも装着してある。反応性スパッタや、多元ターゲットのアップスパッタリングとダウンスパッタリング、多層薄膜のアップスパッタリングとダウンスパッタリングもできる。ターゲットのサイズは2インチまたは3インチが装着できる。制御はPLC基盤のPC制御で、基板の加熱は600度まで。