3 x 4／4 x 3インチガンマルチマグネトロンスパッタ Flexlab System 100

製品カタログ・資料

3×4／4×3インチガンマルチマグネトロンスパッタ Flexlab System 100

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.31MB【Flexlab System 100】は、多目的の研究用RF、DCスパッタとして金属、金属酸化物、金属窒化物,高分子物質などの蒸着ができる。半導体、ディスプレイ、ソーラーセル、バイオチップ、新素材,ナノー材料、サンプルの準備などの用途に適用できる。設置空間をとらず、操作も容易で、値段も安価で提供している。ターゲットとチャンバー窓のシャッター、チャンバーの内部にライナーも装着してある。反応性スパッタもできる。また多元ターゲットのアップスパッタリングとダウンスパッタリング、多層薄膜のアップスパッタリングとダウンスパッタリングもできる。ターゲットのサイズは3インチまたは4インチの物が装着できる。制御はPLC基盤のPC制御で、基板の加熱は600度まで。