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コンパクトマグネトロンスパッタ Compact Sputter‐75S

A-Tech System

最終更新日:2014/02/01

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  • コンパクトマグネトロンスパッタ Compact Sputter‐75S
コストパフォーマンスに優れた研究用スパッタ
【Compact Sputter‐75S】は、多目的の研究用RF、DCスパッタとして金属、金属酸化物、金属窒化物、高分子物質などの蒸着ができる。半導体、ディスプレイ、ソーラーセル、バイオチップ、新素材、ナノ材料、サンプルの準備などの用途に適用できる。設置空間をとらず、操作も容易で、値段も安価である。ターゲットとチャンバー窓のシャッター、チャンバーの内部にライナーも装着してある。反応性スパッタもできる。ターゲットのサイズは2インチまたは3インチの物が装着できる。制御はPLC基盤のタッチパネルで行い、基板の加熱は300度まで。重量は100kgである。

製品カタログ・資料

コンパクトマグネトロンスパッタ Compact Sputter‐75S
コンパクトマグネトロンスパッタ Compact Sputter‐75S

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.42MB【Compact Sputter‐75S】は、多目的の研究用RF、DCスパッタとして金属、金属酸化物、金属窒化物、高分子物質などの蒸着ができる。半導体、ディスプレイ、ソーラーセル、バイオチップ、新素材、ナノ材料、サンプルの準備などの用途に適用できる。設置空間をとらず、操作も容易で、値段も安価である。ターゲットとチャンバー窓のシャッター、チャンバーの内部にライナーも装着してある。反応性スパッタもできる。ターゲットのサイズは2インチまたは3インチの物が装着できる。制御はPLC基盤のタッチパネルで行い、基板の加熱は300度まで。重量は100kgである。

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〒 000-0000
韓国 仁川市富平区清川2洞 175-25
Web:
http://atechsystem.co.kr/