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OLED透明導電膜コーティング用スパッタ FTS‐200

A-Tech System

最終更新日:2014/02/01

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  • OLED透明導電膜コーティング用スパッタ FTS‐200
基板のダメージ最小化ができるスパッタ
【FTS‐200】は、フェーシングターゲットスパッタ(FTS)としてOLED(有機ELディスプレイ)の透明導電膜の蒸着に使用できる。このチャンバーの中に2つのチルトができるガンが装着してある。多層蒸着と同時蒸着もできる。基板加熱はSiCヒーターを使用して均一に調節されており、基板以外の部品は加熱しない様に設計されている。基板の回転は0〜60rpm内で調節できる。装置はPCで制御できる。
    　　　　　　　　
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OLED透明導電膜コーティング用スパッタ FTS‐200
OLED透明導電膜コーティング用スパッタ FTS‐200

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.13MB【FTS‐200】は、フェーシングターゲットスパッタ(FTS)としてOLED(有機ELディスプレイ)の透明導電膜の蒸着に使用できる。このチャンバーの中に2つのチルトができるガンが装着してある。多層蒸着と同時蒸着もできる。基板加熱はSiCヒーターを使用して均一に調節されており、基板以外の部品は加熱しない様に設計されている。基板の回転は0〜60rpm内で調節できる。装置はPCで制御できる。

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住所：
〒 000-0000
韓国　仁川市富平区清川2洞　175-25
Web：
http://atechsystem.co.kr/