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4 x 6インチガンマルチインラインスパッタ Sputter Pilot‐150C

A-Tech System

最終更新日:2014/02/01

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  • 4 x 6インチガンマルチインラインスパッタ Sputter Pilot‐150C
高蒸着均一度
【Sputter Pilot‐150C】は、研究用での多層薄膜のスパッタリングのためのRF、DCマルチスパッタに適している。蒸着膜の厚さ均一度およびRMSは6インチウェハーに対してそれぞれ<±2.8％、25Å(厚さ：228.6nm規準)に調節。サンプルのローディングはロードロッカーを通してできる。装置はPCで制御できる。光学、絶縁膜、金属合金の蒸着への応用に最適である。
    　　　　　　　　
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4 x 6インチガンマルチインラインスパッタ Sputter Pilot‐150C
4 x 6インチガンマルチインラインスパッタ Sputter Pilot‐150C

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.13MB【Sputter Pilot‐150C】は、研究用での多層薄膜のスパッタリングのためのRF、DCマルチスパッタに適している。蒸着膜の厚さ均一度およびRMSは6インチウェハーに対してそれぞれ<±2.8％、25Å(厚さ：228.6nm規準)に調節。サンプルのローディングはロードロッカーを通してできる。装置はPCで制御できる。光学、絶縁膜、金属合金の蒸着への応用に最適である。

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社名：
A-Tech System
住所：
〒 000-0000
韓国　仁川市富平区清川2洞　175-25
Web：
http://atechsystem.co.kr/