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製品カタログ・資料
- 2 x 7／2 x 4インチ RFスパッタ Sputter Lab‐150M
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.15MB【Sputter Lab‐150M】は、6インチウェハー用高周波スパッタ(2×7インチガンおよび2×4インチガン)として研究用途向けに開発された。薄膜厚さの均一度および薄膜表面のRMSがかなり低いのが特長で、SiO2ターゲットを使ってSiO2薄膜蒸着するほか、Siターゲットを使ってSiO2薄膜蒸着もできる。装置はPCによって自動制御ができる。
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