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2 x 7／2 x 4インチ RFスパッタ Sputter Lab‐150M

A-Tech System

最終更新日:2014/02/01

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  • 2 x 7／2 x 4インチ RFスパッタ Sputter Lab‐150M
研究用RFマルチスパッタ
【Sputter Lab‐150M】は、6インチウェハー用高周波スパッタ(2×7インチガンおよび2×4インチガン)として研究用途向けに開発された。薄膜厚さの均一度および薄膜表面のRMSがかなり低いのが特長で、SiO2ターゲットを使ってSiO2薄膜蒸着するほか、Siターゲットを使ってSiO2薄膜蒸着もできる。装置はPCによって自動制御ができる。
    　　　　　　　　
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2 x 7／2 x 4インチ RFスパッタ Sputter Lab‐150M
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ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.15MB【Sputter Lab‐150M】は、6インチウェハー用高周波スパッタ(2×7インチガンおよび2×4インチガン)として研究用途向けに開発された。薄膜厚さの均一度および薄膜表面のRMSがかなり低いのが特長で、SiO2ターゲットを使ってSiO2薄膜蒸着するほか、Siターゲットを使ってSiO2薄膜蒸着もできる。装置はPCによって自動制御ができる。

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企業基本情報

社名：
A-Tech System
住所：
〒 000-0000
韓国　仁川市富平区清川2洞　175-25
Web：
http://atechsystem.co.kr/