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イオンビームエッチング装置

アールエムテック(株)

最終更新日:2015/10/22

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微細加工に好適

本装置は、イオンソースを使用して加工対象物にイオンビーム照射し、ドライエッチングを行うイオンビームエッチング装置。Au、Pt、磁性材などを容易にエッチングすることが可能で、テーパー加工が容易に行える。また、基板表面温度80℃以下での処理が可能。有毒ガスを使用しないため排ガス処理が不要、エンドポイントディテクターを搭載可能。ユーザーの用途に合わせて、研究開発用の小型チャンバーと生産用の大型チャンバーおよび基板ステージを構築する。

産業用機械│半導体製造装置│

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中央区日本橋浜町2-30-1　IKビルディング7F

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