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TEL：
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真空成膜装置・高真空装置

西華デジタルイメージ株式会社

最終更新日:2019/07/25

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  • 真空成膜装置・高真空装置
MECA2000社の技術を引き継いだ高真空度を実現
西華デジタルイメージでは、薄膜素材の評価装置として定評のあるVINCI社の製品を取り扱っているが、同社の真空成膜装置をラインアップに追加した。真空成膜装置とは、半導体の製造工程のうち薄膜成形のプロセスに用いられる装置で、手法によってPVD、CVD、PLD、MBEなど各種の成膜装置が存在しており、真空度の高さが半導体の品質を決める大きな要因となっている。レーザーやLEDの素子に使われる半導体素子を制作する際のプロセスに最適。
    　　　　　　　　

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