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高性能マグネトロンスパッタ源円形スタンダードタイプ

三洋貿易(株)

最終更新日:2016/11/25

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ターゲット利用効率40%以上を実現

【円形スタンダードタイプ】は、ターゲットサイズが1／2／3／4／5／6／8／10／12／16インチで、ターゲット利用効率40%以上を実現した高性能マグネトロンスパッタ源。クランプ方式でターゲット交換が容易。異なるターゲット厚に対応でき、コンパクトなのでマルチ蒸着システムから小さな真空チャンバまであらゆるシステムに対応可能。

産業用機械│半導体製造装置│

　　　　　　　　

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