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高性能マグネトロンスパッタ源 円形スタンダードタイプ

三洋貿易(株)

最終更新日:2016/11/25

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  • 高性能マグネトロンスパッタ源 円形スタンダードタイプ
ターゲット利用効率40%以上を実現
【円形スタンダードタイプ】は、ターゲットサイズが1／2／3／4／5／6／8／10／12／16インチで、ターゲット利用効率40%以上を実現した高性能マグネトロンスパッタ源。クランプ方式でターゲット交換が容易。異なるターゲット厚に対応でき、コンパクトなのでマルチ蒸着システムから小さな真空チャンバまであらゆるシステムに対応可能。
    　　　　　　　　

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社名：
三洋貿易(株)
住所：
〒 101-0054
千代田区神田錦町2-11　三洋安田ビル
Web：
http://www.sanyo-si.com/