クリーンルーム対応ベルヌーイチャック フロートチャックWA型

【フロートチャックWA型】は、クリーンルームへの排気の排出を規制するクリンルーム対応可能なベルヌーイチャック。保持するウエハに対向する作動面と作動面の中央部に設けられたクッション室、クッション室中央部に設けられたノズルおよび作動面の外周にフードを設けており、ノズルより噴出した高速空気流はクッション室壁面およびウエハと接触することなく作動面とウエハとの空隙に流入する仕組みで、クッション室に生じるエゼクタ効果による負圧発生量も増加し、負圧発生が効率良く行われる。また作動面とウエハとの間隙を通過した排出空気は、周囲を取り巻くフードにより補足され、排気口より吸引され所定の場所に排出される。そのため高速空気噴流がクリーンルーム内に流入することが少なく、ゴミの排出、塵の巻き上げることがない。適応ウエハサイズ別に4モデルを用意。