量産インライン型大気圧プラズマ表面改質装置 ILP-Inlineシリーズ
最終更新日:2014/01/31
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インライン自動搬送システムにより最大1500 x 2000mmサイズのワークを自動処理可能
【ILP-Inlineシリーズ】は、グロー放電プラズマによるダイレクト方式の量産インライン型大気圧プラズマ表面改質装置。低ランニング費用（ガス消費量、低パワー）で、金属／非金属に対応。主な用途は、(1)ダイアタッチ、モールディング、ワイヤーボンディング、Au-Au超音波接合等の前処理用(Bondability向上)、(2)表面改質、(3)有機物除去(ウェハ、ガラス、PCB／FPCB、CSP／BGA基板など)、(4)LCD基板端子洗浄。
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