セミオート大気圧プラズマ表面改質装置 ILP-Autoシリーズ
最終更新日:2014/01/31
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最大700mm幅サイズまでのワークを処理できるセミオート機
【ILP-Autoシリーズ】は、グロー放電プラズマによるダイレクト方式によるセミオート大気圧プラズマ表面改質装置。低ランニング費用(ガス消費量、低パワー)で、金属／非金属に対応。主な用途は、(1)ダイアタッチ、モールディング、ワイヤーボンディング、Au-Au超音波接合などの前処理用(Bondability向上)、(2)表面改質、(3)有機物除去(ウェハ、ガラス、PCB／FPCB、CSP／BGA基板など)、(4)LCD基板端子洗浄。
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