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MEMSフォトレジスト薄膜コーティング試作＆装置

株式会社エーシングテクノロジーズ

最終更新日:2014/02/01

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  • MEMSフォトレジスト薄膜コーティング試作＆装置
コーティング困難な凹凸複雑デバイスへ塗布可能
同社では、塗布困難なデバイスに対しフォトレジストをはじめ数々の機能膜、複合膜のコーティングを提案している。装置は凹凸の3D(立体)部品に極超薄膜コーティング(数nm)から薄膜(1μ)から厚膜(100μ)の膜形成に対応。薄膜事業では、ユーザーへの試作支援とコーター(特殊オーダーメイド薄膜コーティング装置・スプレーコーター)提案と技術コンサルタントを行っている。MEMS製造装置や特殊電子デバイスで多くの成膜実績を得ている。
    　　　　　　　　

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株式会社エーシングテクノロジーズ
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〒 252-0816
藤沢市遠藤2020-5 湘南藤沢インキュベーションLABO(S.F.I.-LABO)No.16/No.17
Web：
http://www.acingtec.com/
TEL：
0463247740