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3 x 12インチガンマルチスパッタ Sputter Lab‐200D

A-Tech System

最終更新日:2014/02/01

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  • 3 x 12インチガンマルチスパッタ Sputter Lab‐200D
ディスプレイ素材研究用マルチースパッタ
【Sputter Lab‐200D】は、研究用の多層薄膜のスパッタリングのためのRF、DCマルチスパッタとして使用できる。サンプルのローディングはロードロッカーチャンバーを通じてできる。高速ポンピングのためにクライオポンプが採択されている。基板の位置は自動的に調節される。装置の制御はPCでできる。
    　　　　　　　　
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3 x 12インチガンマルチスパッタ Sputter Lab‐200D
3 x 12インチガンマルチスパッタ Sputter Lab‐200D

ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.15MB【Sputter Lab‐200D】は、研究用の多層薄膜のスパッタリングのためのRF、DCマルチスパッタとして使用できる。サンプルのローディングはロードロッカーチャンバーを通じてできる。高速ポンピングのためにクライオポンプが採択されている。基板の位置は自動的に調節される。装置の制御はPCでできる。

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社名：
A-Tech System
住所：
〒 000-0000
韓国　仁川市富平区清川2洞　175-25
Web：
http://atechsystem.co.kr/