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製品カタログ・資料
- 3 x 12インチガンマルチスパッタ Sputter Lab‐200D
ファイル形式：pdf ファイルサイズ：0.15MB【Sputter Lab‐200D】は、研究用の多層薄膜のスパッタリングのためのRF、DCマルチスパッタとして使用できる。サンプルのローディングはロードロッカーチャンバーを通じてできる。高速ポンピングのためにクライオポンプが採択されている。基板の位置は自動的に調節される。装置の制御はPCでできる。
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