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酸化物&金属向けコ―ティング用クラスタースパッタ ClusterSPT‐200

A-Tech System

最終更新日:2014/02/01

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  • 酸化物&金属向けコ―ティング用クラスタースパッタ ClusterSPT‐200
研究用クラスタースパッタ
【ClusterSPT‐200】は、TCO蒸着のための酸化物と金属のコ―ティング用クラスター式スパッタとして2つのスパッタチャンバーと1つのグラブボックスで構成されている。基板はロボットによってカセットからチャンバーへ、チャンバーからカセットへ移送する。各チャンバーは8インチガンが3個装着してあるが、最大4個まで 装着可能。多層薄膜のアップスパッタリングと多元ターゲットのアップスパッタリングができる。また基板回転、基板とスパッタガンの間距離調節もできる。金属マスクの整列にはレーザービームを使用している。基板温度の均一度は200×200mmの基板に対して±2%以下に調節できる。装置の制御はPCでできる。

製品カタログ・資料

酸化物&金属向けコ―ティング用クラスタースパッタ ClusterSPT‐200
酸化物&金属向けコ―ティング用クラスタースパッタ ClusterSPT‐200

ファイル形式:pdf ファイルサイズ:0.19MB【ClusterSPT‐200】は、TCO蒸着のための酸化物と金属のコ―ティング用クラスター式スパッタとして2つのスパッタチャンバーと1つのグラブボックスで構成されている。基板はロボットによってカセットからチャンバーへ、チャンバーからカセットへ移送する。各チャンバーは8インチガンが3個装着してあるが、最大4個まで 装着可能。多層薄膜のアップスパッタリングと多元ターゲットのアップスパッタリングができる。また基板回転、基板とスパッタガンの間距離調節もできる。金属マスクの整列にはレーザービームを使用している。基板温度の均一度は200×200mmの基板に対して±2%以下に調節できる。装置の制御はPCでできる。

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韓国 仁川市富平区清川2洞 175-25
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