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量産用シリコン深掘り装置 ASE-Pegasus

SPPテクノロジーズ(株)

最終更新日:2015/12/17

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  • 量産用シリコン深掘り装置 ASE-Pegasus
高選択比と高エッチレートを同時に実現
【ASE-Pegasus】は、ボッシュプロセスに独自技術を加えて確立した、量産対応のMEMS・半導体用シリコン深掘り装置。垂直なエッチング形状と側壁粗さ、そしてCDロスを維持した状態で高選択比と高エッチレートを同時に実現。英国SPTS社と共有するプロセスライブラリにより、多種多様なエッチング形状を実現する。パワーMOSFETや200mm、300mmウエハでの貫通電極(TSV)など、半導体アプリケーションにも適用。
    　　　　　　　　

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