製品ナビは、工業製品からエレクトロニクス、IT製品まで、探している製品が見つかります
すべてのカテゴリー
  1. トップ
  2. 企業情報
  3. SPPテクノロジーズ(株)
  4. 製品
  5. 量産用シリコン深掘り装置 ASE-Pegasus

量産用シリコン深掘り装置 ASE-Pegasus

SPPテクノロジーズ(株)

最終更新日:2015/12/17

このページを印刷
  • 量産用シリコン深掘り装置 ASE-Pegasus
高選択比と高エッチレートを同時に実現
【ASE-Pegasus】は、ボッシュプロセスに独自技術を加えて確立した、量産対応のMEMS・半導体用シリコン深掘り装置。垂直なエッチング形状と側壁粗さ、そしてCDロスを維持した状態で高選択比と高エッチレートを同時に実現。英国SPTS社と共有するプロセスライブラリにより、多種多様なエッチング形状を実現する。パワーMOSFETや200mm、300mmウエハでの貫通電極(TSV)など、半導体アプリケーションにも適用。
    　　　　　　　　

一緒に閲覧されている製品

量産用シリコン深掘り装置 ASE-Pegasusのお問い合わせ

お問い合わせはこちら

その他製品一覧

新着製品情報

卓上型サーマル式 プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置
卓上型サーマル式 プラズマ支援 原子層堆積(ALD)装置株式会社エイチ・ティー・エル
ウェーハ搬送装置 PWT2022
ウェーハ搬送装置 PWT2022PHT株式会社
高耐熱粘着シート MagiCarrier-β
高耐熱粘着シート MagiCarrier-β株式会社京写
UV LED露光用光源
UV LED露光用光源カンタム・ウシカタ(株)
高速ハンドラー装置 BITA-1／2
高速ハンドラー装置 BITA-1／2ＫＮＥ株式会社
FPDモジュール自動点灯検査装置
FPDモジュール自動点灯検査装置ニデックインスツルメンツ(株)

ランキング

熱ラミネート(ヒートロール)を含んだ貼り合わせ装置の設計製作
熱ラミネート(ヒートロール)を含んだ貼り合わせ装置…長野オートメーション(株)