ウエハキャリア歪検査装置
最終更新日:2014/02/01
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1キャリアあたり10秒で検査
本製品は、ウエハキャリアの歪を検査することができる装置。キャリアを載せてスタートボタンを押すだけの簡単な操作で、ダミーウエハを使用せず、1キャリアあたり10秒で検査が可能。検査完了後にはOK／NGのランプが点灯し、NGの場合は「NGポイント」をLEDに表示する。小径の穴からエアーを吸込み、吸込み面とキャリアとの隙間で発生する圧力変化を直接エアーマイクロゲージ方式で検出するため非接触であり、ゴミが出ない。
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