排気回流機構により超クリーンルーム内での使用も可能
【フロートチャックC型シリーズ】は、従来技術に比較して負圧発生効率は約2倍に達し、空気消費量が約50％少なく、かつクリーンルームにて使用可能な経済的な非接触搬送装置。カメラ、センサー、ワークを非接触にて保持し検査、測定、ハンドリングが行える。そのほか同社では、半導体ウエハ、LCD・PDP、ガラス基板、プリント基板、セラミック基板、スルーホールフレキシブル基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク、アルミ板、銅阪などの金属板などの非接触搬送装置を製作している。
