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非接触搬送装置フロートチャックSA-C型シリーズ

(有)ソーラーリサーチ研究所

最終更新日:2014/02/01

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空気消費量の激減と、高い懸垂力を実現

【フロートチャックSA-C型シリーズ】は、効率の良い負圧発生および昇圧作用を有した非接触搬送装置。負圧発生機構として、作動面とワークとの小なる間隙を流れる高速気流によるベルヌーイ効果による負圧発生、また昇圧発生機能として前記間隙を通過する高速気流によるクッション効果を併持ち、高負荷・低空気消費量を実現。旋回流方式型や従来型ベルヌーイチャックと比べ、同じ供給空気量であれば、2〜6倍の懸垂力を発揮する。よって、空気消費量が大なることで懸案であった「第10世代液晶大型ガラス基板」の非接触搬送が可能となった。

産業用機械│半導体製造装置│

　　　　　　　　

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