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DLC薄膜形成装置 AAPIG-16110D型

神港精機(株)

最終更新日:2014/02/01

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  • DLC薄膜形成装置 AAPIG-16110D型
標準3μmのDLC薄膜を180分で量産
【AAPIG-16110D型】は、各種基板に耐腐食性、耐磨耗性および平滑性に優れたDLC(ダイヤモンドライクカーボン)薄膜をプラズマCVD法により成膜する装置。プラズマ源に熱陰極PIGプラズマガン(独自特許)を使用し真空中でガスを活性化し反応させて高品質のDLC薄膜を作製できる。標準φ140×h400×12軸の基板に対し、標準3μm(MAX10μm)のDLC薄膜を180分(うち成膜時間は60分)で作製する量産量型。
    　　　　　　　　

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企業基本情報

社名：
神港精機(株)
住所：
〒 103-0022
中央区日本橋室町4-2-16楠和日本橋ビル2F
Web：
http://www.shinko-seiki.com/